真空対応サブミクロン分解能 昇降ステージ

FS-1005Z(V) / FS-1010Z(V)


■特長

0.05μm/0.1μm分解能の制御を可能にした、真空対応Z軸フィードバックステージです。自社開発したリニアスケールを内蔵、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰返し位置決めなど、大気用と同じ特徴を備えながら真空対応品となっています。ストロークは5mm・10mmをラインナップ。

■仕様

型式 テーブルサイズ ストローク 耐荷重 質量 最小分解能(※1)
[nm]
繰返し位置決め精度(※1)
[nm]
最大移動速度 CAD図面
[mm] [mm] [N](kgf) [kg] FC-411 FC-111 FC-411 FC-111 [mm/sec]
FS-1005Z(V) □120 5 49(5) 1.6 50 100 ±100 ±200 2
FS-1010Z(V) □120 10 49(5) 1.7 50 100 ±100 ±200 2
構成
ボールねじ φ6mm リード1mm
移動ガイド LMガイド+クロスローラガイド
駆動モータ □28mm 5相ステッピングモータ
主材質 アルミ合金
使用線材 ジュンフロン線
センサ リミットセンサ
内蔵スケール
信号周期 4μm
材質 クオーツガラス(TQZ)
線膨張係数 0.5 x 10-6/℃
スケールケーブル(※3) 2m

※1:内蔵スケールの読み取り値に対する 『最小分解能』 及び 『繰返し位置決め精度』 です。
※2:駆動モータは 2 種類あります。 型式 FS-10*0X(V) は通常モータ仕様、 FS-10*0X(VR) は高トルクモータ仕様です。
※3:スケールケーブルはステージから直接出ています。
XY軸の組み合わせ方向は【フィードバックステージの組み合わせについて】をご参照ください。

■寸法イメージ図

FS-1005Z(V)
FS-1010Z(V)

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