真空対応サブミクロン分解能 直動ステージ

FS-1020X(V) / FS-1040X(V) / FS-1050X(V) / FS01100X(V)
FS-1020XY(V) / FS-1040XY(V) / FS-1050XY(V) / FS-1100XY(V)


■特長

0.1μm/0.05μm分解能の制御を可能にした、真空対応フィードバックステージです。自社開発したリニアスケールを内蔵、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰返し位置決めなど、大気用と同じ特徴を備えながら真空対応品となっています。ストロークは20mm・40mm・50mm・100mmをラインナップ。

■仕様

型式 テーブルサイズ ストローク 耐荷重 質量 最小分解能(※1)
[nm]
繰返し位置決め精度(※1)
[nm]
走り平行度 最大移動速度 CAD図面
[mm] [mm] [N](kgf) [kg] FC-411 FC-111 FC-411 FC-111 [μm以下] [mm/sec]
FS-1020X(V) □60 20 49(5) 0.5 50 100 ±100 ±200 10 2
FS-1020XY(V) □60 X:20,Y:20 39.2(4) 1 50 100 ±100 ±200 10 2
FS-1040X(V) □80 40 49(5) 1 50 100 ±100 ±200 10 2
FS-1040XY(V) □80 X:40,Y:40 39.2(4) 2 50 100 ±100 ±200 10 2
FS-1050X(V) □120 50 98(10) 1.6 50 100 ±100 ±200 10 2
FS-1050XY(V) □120 X:50,Y:50 78.4(8) 3.2 50 100 ±100 ±200 10 2
FS-1100X(V) □120 100 98(10) 2.1 50 100 ±100 ±200 10 2
FS-1100XY(V) □120 X:100,Y:100 78.4(8) 4.2 50 100 ±100 ±200 10 2
構成
ボールねじ FS-1020X(V)・XY(V) φ4mm リード1mm
その他 φ6mm リード1mm
移動ガイド FS-1100X(V)・XY(V) LMガイド
その他 クロスローラガイド
駆動モータ(※2) □28mm 5相ステッピングモータ
主材質 アルミ合金
使用線材 ジュンフロン線
センサ リミットセンサ
内蔵スケール
信号周期 4μm
材質 クオーツガラス(TQZ)
線膨張係数 0.5 x 10-6/℃
スケールケーブル(※3) 2m

※1:内蔵スケールの読み取り値に対する 『最小分解能』 及び 『繰返し位置決め精度』 です。
※2:駆動モータは 2 種類あります。 型式 FS-10*0X(V) は通常モータ仕様、 FS-10*0X(VR) は高トルクモータ仕様です。
※3:スケールケーブルはステージから直接出ています。
XY軸の組み合わせ方向は【フィードバックステージの組み合わせについて】をご参照ください。

■寸法イメージ図

FS-1020(V)
FS-1040(V)
FS-1050(V)
FS-1100(V)

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