真空対応フィードバックステージシステム


弊社システムの特徴である光学式リニアスケールを内蔵したフィードバックステージと、自社独自の制御回路を搭載した フィードバックステージコントローラとの組合せにより、真空内でのフルクローズドループフィードバック機能を実現しております。

対応真空度は10-4Pa (10-6Torr)<※1>まで対応しており、ステージ材質には アルミ合金、使用線材はジュンフロン線を使用し、真空用グリスにて潤滑を行っております。 1nm・5nm・10nm・サブミクロン(0.05μm・0.1μm)分解能をラインナップし、ストロークは 20mm~100mm<※2>までご用意しております。また、真空対応したZ軸タイプもラインナップしております。

詳細な仕様につきましては、下記の各製品詳細情報をご覧下さい。

※1: 高真空度の場合には御相談下さい。
※2: 1nm・5nm分解能は20mm~50mmです。

製品詳細情報

■真空対応1nmフィードバックステージシステム

■真空対応5nmフィードバックステージシステム

■真空対応10nmフィードバックステージシステム

■真空対応サブミクロンフィードバックステージシステム

■オプション

■真空対応品価格表