真空対応5nm分解能 直動ステージ

FS-1020SPX(V) / FS-1040SPX(V) / FS-1050SPX(V)
FS-1020SPXY(V) / FS-1040SPXY(V) / FS-1050SPXY(V)


■特長

5nm分解能の制御を可能にした、真空対応フィードバックステージです。自社開発したリニアスケールを内蔵、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰返し位置決めなど、大気用と同じ特徴を備えながら真空対応品となっています。ストロークは20mm・40mm・50mmをラインナップ。

■仕様

型式 テーブルサイズ
[mm]
ストローク
[mm]
耐荷重
[N](kgf)
質量
[kg]
最小分解能
[nm](※1)
繰返し位置決め精度
[nm](※1)
走り平行度
[μm以下]
最大移動速度
[mm/sec]
CAD図面
FS-1020SPX(V) □60 20 49(5) 0.5 5 ±10 10 2
FS-1020SPXY(V) □60 X:20,Y:20 39.2(4) 1 5 ±10 10 2
FS-1040SPX(V) □80 40 49(5) 1 5 ±10 10 2
FS-1040SPXY(V) □80 X:40,Y:40 39.2(4) 2 5 ±10 10 2
FS-1050SPX(V) □120 50 98(10) 1.6 5 ±10 10 2
FS-1050SPXY(V) □120 X:50,Y:50 78.4(8) 3.2 5 ±10 10 2
構成
ボールねじ(FS-1020UPX(V)) φ4mm リード1mm
ボールねじ(その他) φ6mm リード1mm
移動ガイド クロスローラガイド
駆動モータ(※2) □28mm 5相ステッピングモータ
主材質 アルミ合金
使用線材 ジュンフロン線
センサ リミットセンサ
内蔵スケール
信号周期 2μm
材質 クオーツガラス(TQZ)
線膨張係数 0.5 x 10-6/℃
スケールケーブル(※3) 2m

※1:内蔵スケールの読み取り値に対する 『最小分解能』 及び 『繰返し位置決め精度』 です。
※2:駆動モータは 2 種類あります。 型式 FS-10*0SPX(V) は通常モータ仕様、 FS-10*0SPX(VR) は高トルクモータ仕様です。
※3:スケールケーブルはステージから直接出ています。
XY軸の組み合わせ方向は【フィードバックステージの組み合わせについて】をご参照ください。

■寸法イメージ図

FS-1020SP(V)
FS0-1040SP(V)
FS-1050SP(V)

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