真空対応10nm分解能 昇降ステージ

FS-1005PZ(V) / FS-1010PZ(V)


■特長

10nm分解能の制御を可能にした、真空対応Z軸フィードバックステージです。自社開発したリニアスケールを内蔵、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰返し位置決めなど、大気用と同じ特徴を備えながら真空対応品となっています。ストロークは5mm・10mmをラインナップ。

■仕様

型式 テーブルサイズ
[mm]
ストローク
[mm]
耐荷重
[N](kgf)
質量
[kg]
最小分解能
[nm](※1)
繰返し位置決め精度
[nm](※1)
最大移動速度
[mm/sec]
CAD図面
FS-1005PZ(V) □120 5 49(5) 1.6 10 ±20 2
FS-1010PZ(V) □120 10 49(5) 1.7 10 ±20 2
構成
ボールねじ φ6mm リード1mm
移動ガイド LMガイド+クロスローラガイド
駆動モータ □28mm 5相ステッピングモータ
主材質 アルミ合金
使用線材 ジュンフロン線
センサ リミットセンサ
内蔵スケール
信号周期 4μm
材質 クオーツガラス(TQZ)
線膨張係数 0.5 x 10-6/℃
スケールケーブル(※3) 2m

※1:内蔵スケールの読み取り値に対する 『最小分解能』 及び 『繰返し位置決め精度』 です。
※2:ストローク 100mm あたりの走り平行度です。
※3:スケールケーブルはステージから直接出ています。 2m 以上必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。
XY軸の組み合わせ方向は【フィードバックステージの組み合わせについて】をご参照ください。

■寸法イメージ図

FS-1005PZ(V)
FS-1010PZ(V)

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