真空対応10nm分解能 直動ステージ

FS-1020PX(V) / FS-1040PX(V) / FS-1050PX(V) / FS01100PX(V)
FS-1020PXY(V) / FS-1040PXY(V) / FS-1050PXY(V) / FS-1100PXY(V)


■特長

10nm分解能の制御を可能にした、真空対応フィードバックステージです。自社開発したリニアスケールを内蔵、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰返し位置決めなど、大気用と同じ特徴を備えながら真空対応品となっています。ストロークは20mm・40mm・50mm・100mmをラインナップ。

■仕様

型式 テーブルサイズ
[mm]
ストローク
[mm]
耐荷重
[N](kgf)
質量
[kg]
最小分解能
[nm](※1)
繰返し位置決め精度
[nm](※1)
走り平行度
[μm以下]
最大移動速度
[mm/sec]
CAD図面
FS-1020PX(V) □60 20 49(5) 0.5 10 ±20 10 2
FS-1020PXY(V) □60 X:20,Y:20 39.2(4) 1 10 ±20 10 2
FS-1040PX(V) □80 40 49(5) 1 10 ±20 10 2
FS-1040PXY(V) □80 X:40,Y:40 39.2(4) 2 10 ±20 10 2
FS-1050PX(V) □120 50 98(10) 1.6 10 ±20 10 2
FS-1050PXY(V) □120 X:50,Y:50 78.4(8) 3.2 10 ±20 10 2
FS-1100PX(V) □120 100 98(10) 2.1 10 ±20 10 2
FS-1100PXY(V) □120 X:100,Y:100 78.4(8) 4.2 10 ±20 10 2
構成
ボールねじ FS-1020PX(V)・PXY(V) φ4mm リード1mm
φ6mm リード1mm
移動ガイド クロスローラガイド
FS-1100PX(V)・PXY(V) LMガイド
駆動モータ(※2) □28mm 5相ステッピングモータ
主材質 アルミ合金
使用線材 ジュンフロン線
センサ リミットセンサ
内蔵スケール
信号周期 4μm
材質 クオーツガラス(TQZ)
線膨張係数 0.5 x 10-6/℃
スケールケーブル(※3) 2m

※1:内蔵スケールの読み取り値に対する 『最小分解能』 及び 『繰返し位置決め精度』 です。
※2:駆動モータは 2 種類あります。 型式 FS-10*0PX(V) は通常モータ仕様、 FS-10*0PX(VR) は高トルクモータ仕様です。
※3:スケールケーブルはステージから直接出ています。
XY軸の組み合わせ方向は【フィードバックステージの組み合わせについて】をご参照ください。

■寸法イメージ図

FS-1020P(V)
FS-1040P(V)
FS-1050P(V)
FS-1100P(V)

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