価格表一覧 真空対応品

■真空対応1nmフィードバックステージシステム

品名 型式 価格(税込) 価格(税抜) ストローク・制御軸数 制御方法・モータドライバ・その他
真空対応1nmフィードバックステージ FS-1020UPX(V) ¥972,000 ¥900,000 20mm
FS-1020UPXY(V)*1 ¥1,958,040 ¥1,813,000 20×20mm FS-1020UPX(V)の組合せ
FS-1040UPX(V) ¥1,026,000 ¥950,000 40mm
FS-1040UPXY(V) ¥2,052,000 ¥1,900,000 40×40mm FS-1040UPX(V)の組合せ
FS-1050UPX(V) ¥1,080,000 ¥1,000,000 50mm
FS-1050UPXY(V) ¥2,160,000 ¥2,000,000 50×50mm FS-1050UPX(V)の組合せ
真空対応1nmフィードバックステージコントローラ FC-911 ¥864,000 ¥800,000 2軸仕様 フルクローズドループ

*1 FS-1020UPXY及びFS-1020SPX(MD)の価格には、変換プレートAP-001の価格が含まれています。

■真空対応5nmフィードバックステージシステム

品名 型式 価格(税込) 価格(税抜) ストローク・制御軸数 制御方法・モータドライバ・その他
真空対応5nmフィードバックステージ FS-1020SPX(V) ¥702,000 ¥650,000 20mm
FS-1020SPXY(V) ¥1,404,000 ¥1,300,000 20×20mm FS-1020SPX(V)の組合せ
FS-1040SPX(V) ¥788,400 ¥730,000 40mm
FS-1040SPXY(V) ¥1,576,800 ¥1,460,000 40×40mm FS-1040SPX(V)の組合せ
FS-1050SPX(V) ¥810,000 ¥750,000 50mm
FS-1050SPXY(V) ¥1,620,000 ¥1,500,000 50×50mm FS-1050SPX(V)の組合せ
5nmフィードバックステージコントローラ FC-611 ¥810,000 ¥750,000 2軸 フルクローズドループ

■真空対応10nmフィードバックステージシステム

品名 型式 価格(税込) 価格(税抜) ストローク・制御軸数 制御方法・モータドライバ・その他
真空対応10nmフィードバックステージ FS-1020PX(V) ¥594,000 ¥550,000 20mm
FS-1020PXY(V) ¥1,188,000 ¥1,100,000 20×20mm FS-1020PX(V)の組合せ
FS-1040PX(V) ¥680,400 ¥630,000 40mm
FS-1040PXY(V) ¥1,360,800 ¥1,260,000 40×40mm FS-1040PX(V)の組合せ
FS-1050PX(V) ¥702,000 ¥650,000 50mm
FS-1050PXY(V) ¥1,404,000 ¥1,300,000 50×50mm FS-1050PX(V)の組合せ
FS-1100PX(V) ¥864,000 ¥800,000 100mm
FS-1100PXY(V) ¥1,728,000 ¥1,600,000 100×100mm FS-1100PX(V)の組合せ
真空対応Z軸10nmフィードバックステージ FS-1005PZ(V) ¥972,000 ¥900,000 5mm
FS-1010PZ(V) ¥1,134,000 ¥1,050,000 10mm
真空対応スイベル10nmフィードバックステージ FS-1120Pθ(V) ¥712,800 ¥660,000 ±4°
10nmフィードバックステージコントローラ FC-511 ¥756,000 ¥700,000 2軸 フルクローズドループ

■真空対応サブミクロンフィードバックステージシステム

品名 型式 価格(税込) 価格(税抜) ストローク・制御軸数 制御方法・モータドライバ・その他
真空対応サブミクロンフィードバックステージ FS-1020X(V) ¥561,600 ¥520,000 20mm
FS-1020XY(V) ¥1,123,200 ¥1,040,000 20×20mm FS-1020X(V)の組合せ
FS-1040X(V) ¥626,400 ¥580,000 40mm
FS-1040XY(V) ¥1,252,800 ¥1,160,000 40×40mm FS-1040X(V)の組合せ
FS-1050X(V) ¥648,000 ¥600,000 50mm
FS-1050XY(V) ¥1,296,000 ¥1,200,000 50×50mm FS-1050X(V)の組合せ
FS-1100X(V) ¥810,800 ¥750,000 100mm
FS-1100XY(V) ¥1,620,000 ¥1,500,000 100×100mm FS-1100X(V)の組合せ
真空対応Z軸サブミクロンフィードバックステージ FS-1005Z(V) ¥918,000 ¥850,000 5mm
FS-1010Z(V) ¥1,026,000 ¥950,000 10mm
真空対応スイベルサブミクロンフィードバックステージ FS-1120θ(V) ¥669,600 ¥620,000 ±4°
サブミクロンフィードバックステージコントローラ *2 FC-111 ¥432,000 ¥400,000 2軸 フルクローズドループ
FC-411 ¥594,000 ¥550,000 2軸 フルクローズドループ

*2 サブミクロンフィードバックステージコントローラFC-111は真空対応サブミクロンフィードバックステージとの組合せにより0.1μm分解能となります。
*2 サブミクロンフィードバックステージコントローラFC-411は真空対応サブミクロンフィードバックステージとの組合せにより0.05μm分解能となります。

■真空対応ケーブル

品名 型式 価格(税込) 価格(税抜) ケーブル長 適応コントローラ
真空モータケーブル VMN-CA-1(旧P0804021) ¥7,560 ¥7,000 1m *3 FC-111/411/511/611/911
真空側中継ケーブル VRN-CA-03(旧P0804022) ¥47,520 ¥44,000 0.3m *3
待機側中継ケーブル ARN-CA-05(旧P0804023) ¥23,760 ¥22,000 0.5m *3
パルスモータケーブル PM-MN-1 ¥9,180 ¥8,500 1m *4
スケール用延長ケーブル PS-EX-1T ¥9,180 ¥8,500 1m *4

*3 ケーブル長は指定できます。 *4 1m延長毎1000円(税抜)の加算です。(例:PM-MN-2 → ¥9,500(税抜), PS-EX-3T → ¥10,500(税抜))