フィードバックステージシステム


自社開発の光学式リニアエンコーダを搭載したフィードバックステージと、独自のフィードバック制御機能を 有したフィードバックステージコントローラにより、高分解能・高い繰り返し再現性・高位置保持性を達成 した位置決め装置です。

1.全てのフィードバックステージにリニアエンコーダを内蔵しております。

2.ラインナップは分解能(※1)によって設定されております。
1nmフィードバックステージシステム(1nm分解能位置決め装置)
5nmフィードバックステージシステム(5nm分解能位置決め装置)
10nmフィードバックステージシステム(10nm分解能位置決め装置)
サブミクロンフィードバックステージシステム(サブミクロン分解能位置決め装置)

3.ステージのラインナップは、直動軸(X・XY)・昇降軸・微小回転軸を用意しております。
詳しくは各ステージの仕様をご覧下さい。

4.オプションにてジョグコントローラをラインナップしております。
ステージコントローラに接続することで、手元でステージを操作することができます。
十字キーによるステージ動作、ティーチング操作、緊急停止、モード切替、スリープ実行などが行えます。

5.リニアスケールを搭載した特注品も対応しておりますので御連絡ください。

(※1)内蔵スケールの読み取り値に対する分解能です。

 

製品詳細情報