製品情報 | 精密位置決め装置

フィードバックステージシステム

光学式リニアスケールをステージ内部に内蔵し、自社独自のフィードバック回路を搭載した高分解能フィードバックステージシステム(位置決め装置)です。
ラインナップは1nm・5nm・10nm・サブミクロン(50/100nm)、 ステージは直動ストローク20mm~400mm(*1)、昇降型Z軸・微小回転をラインナップしております。

(*1)ストロークはステージラインナップ(分解能)によって変わります。

真空対応フィードバックステージシステム

真空対応の高分解能フィードバックステージシステムです。
弊社システムの特徴である光学式リニアスケールを内蔵したフィードバックステージと、自社独自の制御回路を搭載した フィードバックステージコントローラとの組合せにより、真空内でのフルクローズドループフィードバック機能を実現しております。

オプション

使いやすいユーザーインターフェースをご提供いたします。各種オプション製品の仕様を閲覧頂けます。
・ジョグコントローラ(全コントローラ接続可能)
・Z軸ブラケット
・変換プレート

特注・システムのお問合せ

弊社システムを応用した、特注システムを設計・制作しております。
お客様のご要望にお応えいたします。
お気軽にお問い合わせ下さい。
弊社システムの特徴:高分解能・高い位置決め再現性・高い位置保持性