大型テーブル昇降ステージ

LFS-1005PZ(Custom-made)


■特長

テーブルサイズがW550mm×L280mmある大型の高分解能位置決めステージの昇降タイプです。
耐荷重が30kgfあるため装置等を設置することができます。
過去の案件では大型テーブル直動ステージLFS-1020PX(Custom-made)を組み付けて2軸動作ステージとして納品致しました。
また、リニアエンコーダを内蔵しており、フィードバック制御による目標位置への位置決め、位置再現(繰り返し位置決め)、位置保持を高分解能に行うことができます。

■参考仕様

型式 テーブルサイズ
[mm]
ストローク
[mm]
耐荷重
[N](kgf)
質量
[kg]
最小分解能
[nm](※1)
繰返し位置決め精度
[nm](※1)
最大移動速度
[mm/sec]
CAD図面
LFS-1005PZ(Custom-made) 550×280 5 294(30) 30 10 ±20 1
構成
ボールねじ 開閉型ボールねじ
移動ガイド LMガイド+クロスローラガイド
駆動モータ 5相ステッピングモータ
主材質 アルミ合金
表面処理 黒アルマイト
センサ リミットセンサ
内蔵スケール
信号周期 4μm
材質 クオーツガラス(TQZ)
線膨張係数 0.5 x 10-6/℃
スケールケーブル(※2) 2m

※1:内蔵スケールの読み取り値に対する『最小分解能』及び『繰返し位置決め精度』です。
※2:スケールケーブルはステージから直接出ています。 2m 以上必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。
XY軸の組み合わせ方向は【 フィードバックステージの組み合わせについて】をご参照ください。

■寸法イメージ図

LFS-1005PZ(Custom-made)

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