透過穴ステージ

FS-1030PX(Custom-made)
FS-1030PXY(Custom-made)


■特長

ステージ中央に透過穴(φ100)が開いた直動ステージでXY直動ステージとして設計しました。
光やマニピュレータを通すことができます。
自社開発した光学式リニアエンコーダをステージに内蔵しています。
このエンコーダが読み取った位置情報を使用してフィードバック制御することで、目標位置への位置決め、位置再現(繰り返し位置決め)、位置保持を高分解能に行うことができます。

■参考仕様

型式 テーブルサイズ
[mm]
ストローク
[mm]
耐荷重
[N](kgf)
質量
[kg]
最小分解能
[nm](※1)
繰返し位置決め精度
[nm](※1)
走り平行度
[μm以下]
最大移動速度
[mm/sec]
CAD図面
FS-1030PX(Custom-made) □300 30 294(30) 9 10 ±20 10 10
FS-1030PXY(Custom-made) □300 X:30,Y:30 205(21) 18 10 ±20 10 10
構成
ボールねじ φ6mm リード1mm
移動ガイド クロスローラガイド
駆動モータ 5相ステッピングモータ
主材質 アルミ合金
表面処理 黒アルマイト
センサ リミットセンサ
内蔵スケール
信号周期 4μm
材質 クオーツガラス(TQZ)
線膨張係数 0.5 x 10-6/℃
スケールケーブル(※2) 2m

※1:内蔵スケールの読み取り値に対する『最小分解能』及び『繰返し位置決め精度』です。
※2:スケールケーブルはステージから直接出ています。 2m 以上必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。
XY軸の組み合わせ方向は【 フィードバックステージの組み合わせについて】をご参照ください。

■寸法イメージ図

FS-1030PX(Custom-made)
FS-1030PXY(Custom-made)

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