ケーブル - 真空対応フィードバックステージシステム向け

各種ケーブル

■特長

真空対応フィードバックステージシステムに使用する各種ケーブルのラインナップを紹介します。
大気側のケーブルは鉛フリー対応かつ、ノイズの影響を受けにくい編組シールドが施されたロボットケーブルを使用しています。
真空側のケーブルにはアウトガスが発生しにくいジュンフロン線を使用しています。
ケーブルの選定方法は次項の接続例を参照してください。

真空モータケーブル

型式 ケーブル長
[m]
接続元 接続先 CAD図面
VMN-CA-1 1 真空側中継ケーブル 真空対応フィードバックステージ

真空側中継ケーブル

型式 ケーブル長
[m]
接続元 接続先 CAD図面
VRN-CA-03 0.3 真空チャンバーフランジ部 スケールケーブル、真空モータケーブル

大気側中継ケーブル

型式 ケーブル長
[m]
接続元 接続先 CAD図面
ARN-CA-05 0.5 標準パルスモータケーブル、スケール用延長ケーブル 真空チャンバーフランジ部

標準パルスモータケーブル(真空製品向け)

型式 ケーブル長
[m]
接続元 接続先 CAD図面
PM-MN-2 2 フィードバックステージコントローラ
(FC-111 / FC-411 / FC-511 / FC-611 / FC-911)
大気側中継ケーブル
PM-MN-5 5
PM-MN-10 10
PM-MN-□

スケール用延長ケーブル(真空製品向け)

型式 ケーブル長
[m]
接続元 接続先 CAD図面
PS-EX-2T 2 フィードバックステージコントローラ
(全型式)
大気側中継ケーブル
PS-EX-5T 5
PS-EX-10T 10
PS-EX-□T
 
■接続例

真空対応フィードバックステージシステムに使用する各種ケーブルのラインナップを紹介します。
真空チャンバー内と大気中を接続する中継ケーブルが必要になります。
モータケーブルとスケールケーブルは長さが同じになるようにお選びください。

ケーブルの最小構成

真空対応ステージとコントローラを接続する最小構成です。
真空対応ステージとコントローラ以外に真空チャンバー内で使用する真空モータケーブル、真空側中継ケーブルと真空チャンバー外で使用する大気側中継ケーブル、真空製品向け標準パルスモータケーブル、真空製品向けスケール用延長ケーブルが必要になります。
真空チャンバー内でのケーブルの長さはそれぞれ調整いたしますのでご相談ください。

真空チャンバー向けケーブル接続最小構成

ケーブルの延長構成

真空チャンバーとコントローラ間の距離を長くとりたい場合
真空製品向け標準パルスモータケーブル、真空製品向けスケール用延長ケーブルの長さが同じになるように任意の長さでお選びください。
10m以上の構成の場合にはご相談ください。
真空チャンバー内でのケーブルの長さはそれぞれ調整いたしますのでご相談ください。

真空チャンバー向けケーブル延長

複数軸接続のケーブル構成

各軸ごとにケーブルが必要になります。コントローラは2軸まで制御することができます。

真空対応品複数軸接続図