取扱説明書及び仕様書 ダウンロード

ステージコントローラのファームウェアにしたがって仕様が異なるため、ファームウェアごとに取扱説明書が異なっています。
ご使用中のステージコントローラのファームウェアに対応した取扱説明書をご覧いただけますようお願いいたします。

取扱説明書 1nmフィードバックステージコントローラ
■ 対象ステージコントローラファームウェア FV01.029~
FC-911 第4版
取扱説明書 5nmフィードバックステージコントローラ
■ 対象ステージコントローラファームウェア FV01.029~
FC-611 第4版
取扱説明書 10nmフィードバックステージコントローラ
■ 対象ステージコントローラファームウェア FV01.029~
FC-511 第4版
FC-514 第4版
取扱説明書 サブミクロンフィードバックステージコントローラ
■ 対象ステージコントローラファームウェア FV01.029~
FC-411 第4版
FC-414 第4版
FC-111 第4版
FC-114 第4版
取扱説明書 パルスモータステージコントローラ
■ 対象ステージコントローラファームウェア FV01.029~
SC-111 第4版
SC-114 第4版
取扱説明書 ジョグコントローラ
■ 対象ジョグコントローラファームウェア FV01.000~
JC-01 第2版
JC-01-03 第2版
JC-01-04 第2版
仕様書 パルスユニット
PU-211/212 第1版仕様書
PU-411/412 第2版仕様書
PU-511/512 第1版仕様書
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