真空対応位置決め装置 | 図面ダウンロード
2D CAD DXF・DWG形式、3D CAD STP形式、PDF形式のデータがダウンロードできます。
※機種により2D CADのみ、あるいはPDFのみの場合があります。
- 真空対応 1nm フィードバックステージシステム
- ■ ステージ
- FS-1020UPX(V) / FS-1020UPXY(V)
- FS-1040UPX(V) / FS-1040UPXY(V)
- FS-1050UPX(V) / FS-1050UPXY(V)
- ■ コントローラ
- FC-911
- ■ ケーブル
- VMN-CA-□
- VRN-CA-□
- ARN-CA-□
- PM-MN-□
- PS-EX-□T
- 真空対応 5nm フィードバックステージシステム
- ■ ステージ
- FS-1020SPX(V) / FS-1020SPXY(V)
- FS-1040SPX(V) / FS-1040SPXY(V)
- FS-1050SPX(V) / FS-1050SPXY(V)
- ■ コントローラ
- FC-611
- ■ ケーブル
- VMN-CA-□
- VRN-CA-□
- ARN-CA-□
- PM-MN-□
- PS-EX-□T
- 真空対応 10nm フィードバックステージシステム
- ■ ステージ
- FS-1020PX(V) /FS-1020PXY(V)
- FS-1040PX(V) /FS-1040PXY(V)
- FS-1050PX(V) /FS-1050PXY(V)
- FS-1100PX(V) /FS-1100PXY(V)
- FS-1005PZ(V)
- FS-1010PZ(V)
- FS-1120Pθ(V)
- ■ コントローラ
- FC-511
- FC-514
- ■ ケーブル
- VMN-CA-□
- VRN-CA-□
- ARN-CA-□
- PM-MN-□
- PS-EX-□T
- サブミクロン フィードバックステージシステム
- ■ ステージ
- FS-1020X(V) /FS-1020XY(V)
- FS-1040X(V) /FS-1040XY(V)
- FS-1050X(V) /FS-1050XY(V)
- FS-1100X(V) /FS-1100XY(V)
- FS-1005Z(V)
- FS-1010Z(V)
- FS-1120θ(V)
- ■ コントローラ
- FC-411
- FC-414
- FC-111
- FC-114
- ■ ケーブル
- VMN-CA-□
- VRN-CA-□
- ARN-CA-□
- PM-MN-□
- PS-EX-□T