真空対応位置決め装置 | 図面ダウンロード

2D CAD DXF・DWG形式、3D CAD IGS・STP形式のデータがダウンロードできます。
※機種により2D CADのみの場合があります。

真空対応 1nm フィードバックステージシステム
FS-1020UPX(V) / FS-1020UPXY(V)
FS-1040UPX(V) / FS-1040UPXY(V)
FS-1050UPX(V) / FS-1050UPXY(V)
FC-911
真空対応 5nm フィードバックステージシステム
FS-1020SPX(V) / FS-1020SPXY(V)
FS-1040SPX(V) / FS-1040SPXY(V)
FS-1050SPX(V) / FS-1050SPXY(V)
FC-611
真空対応 10nm フィードバックステージシステム
FS-1020PX(V) / FS-1020PXY(V)
FS-1040PX(V) / FS-1040PXY(V)
FS-1050PX(V) / FS-1050PXY(V)
FS-1100PX(V) / FS-1100PXY(V)
FS-1005PZ(V)
FS-1010PZ(V)
FS-1120Pθ
FC-511
FC-514
サブミクロン フィードバックステージシステム
FS-1020X(V) / FS-1020XY(V)
FS-1040X(V) / FS-1040XY(V)
FS-1050X(V) / FS-1050XY(V)
FS-1100X(V) / FS-1100XY(V)
FS-1005Z(V)
FS-1010Z(V)
FS-1120θ
FC-411
FC-414
FC-111
FC-114