位置決め装置 | 図面ダウンロード

2D CAD DXF・DWG形式、3D CAD STP形式、PDF形式のデータがダウンロードできます。
※機種により2D CADのみ、あるいはPDFのみの場合があります。

1nm フィードバックステージシステム
■ ステージ
FS-1020UPX / FS-1020UPXY
FS-1040UPX / FS-1040UPXY
FS-1050UPX / FS-1050UPXY
FS-1020SPX(MD) / FS-1020SPXY(MD)
FS-1040SPX(MD) / FS-1040SPXY(MD)
FS-1050SPX(MD) / FS-1050SPXY(MD)
■ コントローラ
FC-911
■ ケーブル
PM-CA-□
PM-EX-□
PS-EX-□
※□は任意のケーブル長を表しています。
5nm フィードバックステージシステム
■ ステージ
FS-1020SPX / FS-1020SPXY
FS-1040SPX / FS-1040SPXY
FS-1050SPX / FS-1050SPXY
■ コントローラ
FC-611
■ ケーブル
PM-CA-□
PM-EX-□
PS-EX-□
※□は任意のケーブル長を表しています。
10nm フィードバックステージシステム
■ ステージ
FS-1020PX / FS-1020PXY
FS-1040PX / FS-1040PXY
FS-1050PX / FS-1050PXY
FS-1100PX / FS-1100PXY
FS-3150PX / FS-3150PXY
FS-3200PX / FS-3200PXY
FS-1005PZ
FS-1010PZ
FS-1120Pθ
■ コントローラ
FC-511
FC-514
■ ケーブル
PM-CA-□
PM-EX-□
PS-EX-□
PM4N-CA-□
PM4N-CA-□SD
※□は任意のケーブル長を表しています。
サブミクロン フィードバックステージシステム
■ ステージ
FS-1020X / FS-1020XY
FS-1040X / FS-1040XY
FS-1050X / FS-1050XY
FS-1100X / FS-1100XY
FS-3150X / FS-3150XY
FS-3200X / FS-3200XY
FS-3300X
FS-3400X
FS-1005Z
FS-1010Z
FS-1120θ
■ コントローラ
FC-411
FC-414
FC-111
FC-114
■ ケーブル
PM-CA-□
PM-EX-□
PS-EX-□
PM4N-CA-□
PM4N-CA-□SD
※□は任意のケーブル長を表しています。